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波长连续调谐(扫频)垂直腔面发射激光器(VCSEL)在光学相干层析成像(OCT)、调频连续波(FMCW)激光雷达、智能制造等领域有重要应用。在这些应用中,对可调谐VCSEL进行功率监测至关重要。此外,VCSEL具有单纵模、低功耗、易于二维阵列集成等优点,是垂直集成光子系统的理想光源。在未来用于人工智能和传感等领域的三维垂直集成光子系统中,具有宽带波长调谐和集成功率监测功能的VCSEL是关键器件。
本发明涉及一种基于MEMS芯片的气敏材料快速筛选装置及方法,所述装置由集成MEMS芯片、测试腔体、液晶操作屏、功能控制模块、ARM板卡、锂电池、气泵、充电插口、SD卡插槽、电源开关和外壳于一体机:MEMS芯片集成了多通道采集和自加热,为敏感材料提供检测基底和信号采集端口;测试腔体用于固定MEMS芯片并为其提供包括温度、气氛和光照可控及湿度可监测的测试环境;功能控制模块连接ARM板卡,用于为红外测温...
MEMS是当今微纳传感器制造的主流技术,该领域规模最大的国际顶级学术会议IEEE MEMS(IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems),每年一届在美洲、欧洲和亚洲轮流举行,至今已举办36届。该会议是微机电系统领域最高级别的国际学术会议,主要报道微纳加工与集成、微纳传感器与执行器、以及微系统等方面的研究新进展。
近日,合肥工业大学微电子学院集成电路与系统专业2019级博士生杨朝晖以第一作者身份在综合类Top期刊《IEEE Sensors Journal》发表题为“Fast response infrared detector using a radially distributed dual-layer thermopile”的学术论文。微电子学院安徽省MEMS工程技术研究中心团队许高斌教授为论文的通讯作...
中国科学院合肥物质科学研究院专利:一种基于MEMS工艺的平板线型离子阱质量分析器及其制作方法
微机电系统(MEMS)器件具有小型化、低成本、可批量生产的特点,在消费电子、汽车电子、航空航天、医疗器械和工业控制等多个领域的广泛应用,使得其在现代社会中发挥着重要作用。随着科技的进步,各领域对MEMS器件性能的要求越来越严格。因此,MEMS相关研究的主要目标是开发出性能更好的器件。近日,中国科学院空天信息创新研究院传感技术国家重点实验室联合中国科学院大学电子电气与通信工程学院的研究人员提出了一种...
面向大批量、低成本市场开发MEMS传感技术的先驱Omnitron Sensors,近日宣布将与赛微电子旗下Silex Microsystems合作量产用于激光雷达(LiDAR)的MEMS扫描镜。Omnitron Sensors联合创始人、首席执行官(CEO)Eric Aguilar表示:“我们注意到汽车高级驾驶辅助系统(ADAS)、无人机及其他机器人系统制造商对低成本、高可靠的激光雷达有着巨大的需...
合肥工业大学微电子学院MEMS智能传感器方向研究领域包括MEMS传感器设计、RF MEMS、多传感器模块集成与信息融合技术、传感器可靠性研究等。近五年承担的科研项目包括国家重点研发、国家自然科学基金、装备预研、安徽省发改委创新研发专项、安徽省重点研发以及企业委托研发类项目。依托安徽省MEMS工程技术研究中心和安徽省MEMS核心器件产业创新中心,组建了具备MEMS设计、工艺、封测与装备试验能力的特色...
中国科学院微电子研究所专利:制热型MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法
近日,国家重点研发计划“智能传感器”重点专项“MEMS超声换能器元件及传感器”项目启动暨实施方案论证会在重庆大学顺利召开。该项目由珂纳医疗科技(苏州)有限公司牵头,联合重庆大学、浙江大学、哈尔滨工业大学、西安交通大学、中北大学、华东光电集成器件研究所、中科院微电子所、机械工业仪器仪表综合技术经济研究所和杭州娃哈哈精密机械有限公司进行协同攻关。

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