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中国科学院半导体所在可调谐MEMS-VCSEL研究方面取得进展(图)
智能 激光 集成
2024/8/11
波长连续调谐(扫频)垂直腔面发射激光器(VCSEL)在光学相干层析成像(OCT)、调频连续波(FMCW)激光雷达、智能制造等领域有重要应用。在这些应用中,对可调谐VCSEL进行功率监测至关重要。此外,VCSEL具有单纵模、低功耗、易于二维阵列集成等优点,是垂直集成光子系统的理想光源。在未来用于人工智能和传感等领域的三维垂直集成光子系统中,具有宽带波长调谐和集成功率监测功能的VCSEL是关键器件。
上海微系统所在IEEE MEMS 2024国际会议中再创佳绩(图)
微纳传感器 微纳加工 集成
2023/12/2
MEMS是当今微纳传感器制造的主流技术,该领域规模最大的国际顶级学术会议IEEE MEMS(IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems),每年一届在美洲、欧洲和亚洲轮流举行,至今已举办36届。该会议是微机电系统领域最高级别的国际学术会议,主要报道微纳加工与集成、微纳传感器与执行器、以及微系统等方面的研究新进展。
近日,国家重点研发计划“智能传感器”重点专项“MEMS超声换能器元件及传感器”项目启动暨实施方案论证会在重庆大学顺利召开。该项目由珂纳医疗科技(苏州)有限公司牵头,联合重庆大学、浙江大学、哈尔滨工业大学、西安交通大学、中北大学、华东光电集成器件研究所、中科院微电子所、机械工业仪器仪表综合技术经济研究所和杭州娃哈哈精密机械有限公司进行协同攻关。