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近日，我院龙世兵教授课题组在ZrO2介质电容器原子层沉积(ALD)制备研究方面取得了新的进展。近年来DRAM特征尺寸逐步微缩，保持电容器的高电容值和低漏电的需求日益紧迫，对high-k低漏电介质材料的制备要求日益增高，高性能电容器制备成为阻碍DRAM技术更进一步的关键问题。本工作提出了一种全新的“短脉冲-高通氧量”的ALD生长方式，调控介质中锆氧比例，提高了介质k值，同时降低了漏电。相关成果以“O...
不同晶相的金属氧化物通常具有较大的表面结构和电子性质差异，当它们作为催化剂载体也会影响负载金属的分散度、还原度、金属-载体相互作用等性质，从而改变反应效率及产物选择性。2,5-二甲基呋喃（DMF）是一种高能量密度和高辛烷值的液体生物燃料，它也是合成可再生PET塑料的重要原料。
“二氧化碳加氢制备甲醇”和“甲醇和水低温重整制备氢气”是一对正逆反应，CO2+3H2=CH3OH+H2O。通过正逆反应的高效进行，可以实现氢气这一重要能源形式的高效输运。在前期工作中，马丁课题组设计了“甲醇和水低温重整制备氢气”高效催化剂体系。而对于“二氧化碳加氢制备甲醇”反应，传统的Cu/ZrO2 催化剂尽管具有较优异的抗水稳定性但其低温CO2 加氢催化活性低，因此开发低温高活性高选择性CO2加...